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氣路系統(tǒng) 氣路盤是流量計(jì)開發(fā)的氣路輸送系統(tǒng)的解決方案，該產(chǎn)品通過對氣路原理圖的設(shè)計(jì)，加工和測試，以隔膜閥，調(diào)壓閥，壓力傳感器，過濾器，MFC等零部件實(shí)現(xiàn)對多種工藝氣體的壓力調(diào)節(jié)，純度過濾，流量控制等功能，目前市場上常用的為傳統(tǒng)VCR型氣路盤和氣體輸送集成控制系統(tǒng)（Integrated Gas System），即IGS氣路盤，這兩種氣路盤業(yè)務(wù)流量計(jì)都有能力承接。